Максимальные размеры рабочей зоны
|
Диаметр: до 800 мм
Высота: до 1 000 мм
|
Тип пода
|
|
Допустимые рабочие среды
|
- Вакуум
- Водород
- Аргон
- Азот
- Формиргаз
- Смеси газов
|
Предельный уровень вакуума (для вакуумного исполнения)
|
До 3*10-6 Мбар
|
Варианты вакуумной откачки (для вакуумного исполнения)
|
На базе сухих или масляных вакуумных насосов
|
Предельная рабочая температура
|
До 2 200 ˚С (в зависимости от технологического процесса)
|
Однородность температур в рабочей зоне
|
±5 ˚С
|
Количество зон нагрева
|
Определяется требованиями технологического процесса и размерами рабочей зоны
|
Варианты материалов нагревательных элементов
|
- Листовой молибден или вольфрам
- Молибденовая проволока
- Вольфрамовая сетка
- Графитовые нагреватели
|
Система управления
|
На базе контроллера Siemens
|
Уровни доступа ПО
|
- «Оператор» — функционал ПО для выполнения технологического процесса
- «Технолог» — функционал ПО для настройки технологического процесса
- «Администратор» — функционал ПО для настройки оборудования
|
Система охлаждения
|
- Замкнутый чиллер
- Двухконтурная система охлаждения
- Проточное охлаждение
|
Исполнение
|
- Моноблочное
- С отдельным шкафом управления
- С вынесенными в техническую зону вакуумным и газовым оборудованием
|