Заказчик разместил заказ на модернизацию имеющейся у него установки магнетронного напыления Оратория-5. Установка оснащена двумя магнетронами, системой предварительного подогрева образцов и предназначена для нанесения различных покрытий с толщинами от 0,01 до 15 мкм. В связи со значительным возрастом установки многие исполнительные механизмы износились, и оборудование перестало обеспечивать стабильность процесса осаждения покрытий и выдавать требуемые для качественного напыления характеристики. Также морально устарела система управления установкой.
Таким образом, перед исполнителем были поставлены следующие задачи:
- полная автоматизация процесса напыления;
- возможность управления установкой в ручном режиме;
- повышение стабильности процессов напыления для снижения брака (в том числе благодаря автоматизации процесса).
Инженеры нашей компании провели полную диагностику оборудования и определили, что на качество напыления также влияли нестабильно работающие вакуумные клапаны и износ компонентов газовой системы.
В результате модернизации конструкторским отделом были разработаны и в дальнейшем заменены следующие узлы установки:
- газовая система,
- вакуумные клапаны,
- блоки питания магнетронов,
- блоки питания нагревателей,
- система охлаждения,
- шкаф управления.
Если вас интересует услуга модернизации, свяжитесь с нами для анализа запроса и расчёта стоимости.