Пример № 1. Индивидуальное исполнение
Задача заказчика
Заказчику требовалась автоматизированная ретортная (цилиндрическая) печь:
- осаждение покрытий из газовой фазы,
- термообработку изделий в протоке инертного газа.
Технологии применяемых процессов предполагали использование трёх рабочих газов (метилсилана либо метана и аргона) в комбинации с контролем уровня вакуума.
Решение Остек
Наша компания предложила комбинированную печь, способную совмещать контролируемый вакуумный режим с подачей рабочих газов или их смесей.
Осаждение
Использование метана и метилсилана в качестве источников газовой фазы предполагает образование кислот в рабочем объёме камеры. В качестве решения мы использовали химически инертную кварцевую реторту. Для предварительной промывки рабочей камеры перед процессом осаждения наши конструкторы предложили использовать азот. Таким образом, печь совмещает несколько автоматизированных линий подключения газов с контролем газонапуска.
Для вакуумной системы мы использовали безмасляный винтовой насос ― он обеспечивает чистоту технологического процесса, защищая откаченный объём от молекул масла.
Обе системы (газовая и вакуумная) имеют линии сброса газа на газовую горелку.
Термообработка
При проведении термообработки без осаждения установка функционирует как обычная ретортная печь.
Другие характеристики оборудования
Рабочая камера (реторта) выполнена из кварца и оборудована тремя зонами нагрева. Управление процессами доступно в автоматическом и ручном режимах. Аварийная система имеет световую и звуковую индикацию.
Вы можете автоматически отправить форму расчета или самостоятельно скачать и заполнить опросный лист (он более детальный).
Технические характеристики
|
Исполнение печи
|
· Ретортная печь
· С отдельным шкафом управления
· С вынесенным в техническую зону вакуумным и газовым оборудованием
|
|
Размеры рабочей зоны
|
Диаметр: 95 мм
Длина рабочей зоны: 1200 мм
|
|
Предельная рабочая температура
|
1050 °С в газовой среде
850 °С в вакууме
|
|
Однородность температур в рабочей зоне
|
±5 °С
|
|
Количество зон нагрева
|
3
|
|
Рабочие среды
|
- Аргон
- Азот
- Метилсилан
- Метан
|
|
Вакуумная откачка
|
На базе сухого насоса
|
|
Предельный уровень вакуума
|
0,1 мбар
|
|
Материал нагревательных элементов
|
Фехраль
|
|
Контроллер системы управления
|
Siemens
|
|
Уровни доступа программного обеспечения
|
- «Оператор» — функционал ПО для выполнения технологического процесса
- «Технолог» — функционал ПО для настройки технологического процесса
- «Администратор» — функционал ПО для настройки оборудования
|
|
Система охлаждения
|
Проточное охлаждение
|
Мы разрабатываем и производим комбинированные печи Ostec, которые позволяют проводить термообработку в различных средах: в газовой среде (водород, азот, смеси газов, формиргаз) и в вакууме (безгазовая среда). Эта опциональность значительно расширяет сферы применения ─ увеличивает количество доступных процессов термообработки, предполагающих сочетание рабочей среды на разных этапах выполнения технологического процесса.
Преимущества оборудования:
- Снижение энергопотребления (30 %).
- Применение для всего оборудования унифицированной линейки комплектующих.
- Безопасность оборудования.
- Гарантия на изготавливаемое оборудование 24 месяца.
- Автоматическое архивирование файлов.
Печать/PDF
Заявки на сервисное обслуживание
