Максимальные размеры рабочей зоны
|
Диаметр: до 800 мм
Высота: до 1 000 мм
|
Предельная рабочая температура
|
До 2 200 °С
(в зависимости от технологического процесса)
|
Однородность температур в рабочей зоне
|
±5 °С
|
Количество зон нагрева
|
Определяется требованиями технологического процесса и размерами рабочей зоны
|
Допустимые рабочие среды
|
- Вакуум
- Водород
- Аргон
- Азот
- Формиргаз
- Смеси газов
|
Варианты вакуумной откачки (для вакуумного исполнения)
|
На базе сухих или масляных вакуумных насосов
|
Предельный уровень вакуума (для вакуумного исполнения)
|
До 3*10-6 мбар
|
Варианты материалов нагревательных элементов
|
- Листовой молибден или вольфрам
- Молибденовая проволока
- Вольфрамовая сетка
- Графитовый нагреватель
|
Контроллер системы управления
|
Siemens
|
Стандартные уровни доступа программного обеспечения
|
- «Оператор» — функционал ПО для выполнения технологического процесса
- «Технолог» — функционал ПО для настройки технологического процесса
- «Администратор» — функционал ПО для настройки оборудования
|
Комплектация систем охлаждения
|
- Замкнутый чиллер
- Двухконтурная система охлаждения
- Проточное охлаждение
|
Варианты исполнения оборудования
|
- Моноблочное
- С отдельным шкафом управления
- С вынесенным в техническую зону вакуумным и газовым оборудованием
|