Задача заказчика
Заказчику требовалась магнетронная установка для напыления различных металлов (титана, алюминия, нихрома, а также их комбинаций).
Решение Остек-ЭК
Мы предложили установку магнетронного напыления с предварительной ионной очисткой изделий. Разработанные нашими специалистами держатели позволяют загружать до тридцати кассет с изделиями заказчика и обеспечивают покрытие всех видимых сторон изделий.
Магнетронное нанесение покрытий
В рабочей камере установки поэтапно происходят два процесса:
-
ионная очистка изделий (для максимального очищения изделий и улучшения свойств напыляемых плёнок),
-
магнетронное нанесение покрытий (в магнитном поле положительные ионы аргона бомбардируют мишени, прикреплённые к магнетронам. Частички мишени рассеиваются в обратном направлении, осаждаясь на изделиях).
Оба процесса требуют вакуумной откачки, подачи газов.
Перед началом работ камера установки вакуумируется, после чего последовательно запускаются процессы очистки и нанесения покрытий. Мы использовали вакуумную систему на базе безмасляного спирального и турбомолекулярного насосов.
Автоматическая система регулировки технологических газов отвечает за подачу азота во время ионной очистки (использование газа опционально), а также плазмообразующего аргона и реактивных газов (кислород или азот) на стадии осаждения покрытий.
Четыре магнетрона расположены внутри объёма рабочей камеры таким образом, чтобы обеспечить максимально эффективное напыление. С той же целью выполняется вращение карусели с кассетами (скорость вращения регулируемая ―до 30 об/мин).
Другие технические характеристики
Установка полностью автоматизирована: ПО собственной разработки контролирует процессы на каждом этапе, программирует и сохраняет технологии, архивирует ошибки в лог-файлах. Также возможен ручной режим управления.
Если вас интересует индивидуальное исполнение, скачайте опросный лист и подробно опишите запрашиваемое оборудование в соответствующей графе:
Преимущества оборудования
- Снижение энергопотребления (30 %).
- Применение для всего оборудования унифицированной линейки комплектующих.
- Безопасность оборудования.
- Гарантия на изготавливаемое оборудование 24 месяца.
- Автоматическое архивирование файлов.