17 июля 2015

Компания Nordson MARCH представляет новые системы плазменной обработки серии SPHERE для полупроводниковой промышленности

Компания Nordson MARCH, мировой лидер в области систем плазменной обработки, объявила о начале выпуска систем серии SPHERE для областей корпусирования на уровне пластин и трехмерной интеграции. Построенная на базе серии TRACK новая линейка включает в себя системы TrophoSPHERE™ и StratoSPHERE™. Эти системы позволяют осуществлять очистку поверхностей от органических загрязнений, удалять фоторезисты и полимерные пленки, осуществлять травление диэлектриков, обработку столбиковых выводов на полупроводниковых пластинах и снимать напряжение пластин. Обе системы поддерживают автоматизированное перемещение, обработку круглых и квадратных пластин, а также позволяют работать с тонкими пластинами, как на носителе, так и без него.

Дифференциация модельного ряда серии SPHERE заключается в различии размеров камер. Так, система TrophoSPHERE™ имеет самую компактную камеру и создана для обработки пластин и подложек размерами от 76 до 200 мм с высокой производительностью. Система StratoSPHERE™ позволяет обрабатывать подложки и пластины размером до 300 мм. Обе системы оснащаются камерами, которые обеспечивают исключительную равномерность травления и высокую повторяемость. Модули управления систем делают возможным обработку короткими циклами с очень низкими затратами, что гарантирует высокую производительность и малую стоимость владения.

«Системы серии SPHERE – это простой путь к решению проблем загрязнений, возникающих в процессе полупроводникового производства», – комментирует Джонатан Доан, директор по маркетингу Nordson MARCH. «Наши системы плазменной обработки могут быть использованы не только для очистки пластин, но и для травления, а также удаления остатков фоторезиста».